在中高倍率 (5~10x) 搭配大靶面鏡頭進行晶圓、MircoLED 檢測的案例中，景深非常淺，因為乘載的晶圓前後左右無法始終與鏡頭保持相同高度，即使調到只差幾μm仍然會在特定位置脫焦而掃出模糊的影像。VEO Focus 是一套提供升降Z軸、鏡頭、鏡筒、雷射三角法自動對焦模組、外同軸光源四位一體，搭配 Vieworks 相機銷售的自動對焦成像解決方案，最大可支援到 M95 的超大靶面相機。

追焦實測數據

追焦系統是否【能以某某速度追到某某高度差的變化】是大家都會關心的規格數據，由於該規格屬於系統性綜合設計的表現，很難以單獨的硬體零部件規格表示 (例如計算更新速率、採集速率等等)。
因此我們用實驗數據來表達之，請見下表。例如，我們的 Z 軸追焦機構有分兩種款式【線性位移款式】【滾珠螺桿款式】，其中，以【線性位移款式】第一項搭配 Vieworks VT-23K 線掃描相機 (3.5 µm pixel size) 以及 10x 的鏡頭，橫向以 105 mm/s 速度來掃描時，Z軸可以在橫向位移 100mm 量上下成功追焦升降 330 µm。